真空抽氣機組的極限真空度直接影響因素主要包括以下方面：

系統漏氣

漏氣是限制極限真空度的首要因素。外部漏氣常見于法蘭連接處密封不嚴、焊縫裂紋、閥門失效等，內部漏氣可能源于冷卻水管路破裂導致水滲入真空腔體。漏氣會導致系統壓力波動，降低極限真空度。

真空泵性能

泵的類型（如旋片泵、羅茨泵、分子泵）和工作狀態直接影響抽速和極限真空度。高溫或雜質污染會降低泵的抽速和極限真空度，需定期更換密封件和維護泵體。

冷卻系統配置

冷卻水溫度和流量直接影響蒸汽冷凝效果。冷卻水出口溫度越高，真空度越低，需降低出口溫度（如增大水量或降低進口水溫）以提高真空度。

容器原有氣體

容器內殘留氣體成分和抽氣泵的選擇性密切相關。若容器內原有氣體成分與泵的抽速不匹配，可能限制極限真空度。

管道與設備阻力

管道布局復雜或除沫裝置阻力過大，會降低真空度穩定性。簡化管道設計和優化設備配置可提升極限真空度。 ‌